Optik kaplama makinesinin çalışma adımları birden fazla bağlantı içerir. Ayrıntılı çalışma adımları aşağıdadır:
1. Ön hazırlık
Makine durumunu kontrol edin:
Güç kaynağı, gaz kaynağı, soğutma sistemi vb. Dahil olmak üzere optik kaplama makinesinin normal çalışma durumda olup olmadığını kontrol edin.
Temiz bir çalışma ortamı sağlamak için enkazları, özellikle buharlaşma malzemesi kalıntısının içindeki ve çevresindeki enkazları çıkarın.
Malzeme Hazırlığı:
Yüklenmesi gereken yüksek kaliteli optik lensleri veya diğer malzemeleri seçin.
Malzemelerin saflığı ve kalitesinin gereksinimleri karşıladığından emin olmak için metal hedefleri gibi buharlaşma malzemeleri hazırlayın.
Ekipman hazırlığı:
Vakum film kalınlığı göstergeleri, vakum pompaları ve iyon kaynakları gibi gerekli kaplama ekipmanlarını hazırlayın.
Normal çalışabileceğinden emin olmak için ekipmanın sağlam olup olmadığını kontrol edin.
Çevresel Hazırlık:
Kaplama odasının sıkıca kapalı olduğundan ve hava kaçağı olmadığından emin olun.
Temizleme sıvısı ve deiyonize su, öğütme, dekontaminasyon ve diğer aletler gibi temizleme araçlarını hazırlayın.
2. Kaplamanın ön işlemi
Parlatma:
Yüzeydeki küçük depresyonları ve safsızlıkları çıkarmak için optik lensi ince bir şekilde cilalayın.
Temizlik:
Yüzeyin temiz olduğundan emin olmak için optik lensi temizlemek için özel temizlik sıvısı ve ultrasonik temizleme ekipmanı kullanın.
Temizlikten sonra, artık temizleme sıvısını uzaklaştırmak için deiyonize su ile durulayın.
Vakum Isıtma:
Temizlenmiş lensi vakum odasına koyun ve lensi elektrikli ısıtarak ısıtın.
Yüzeyde adsorbe edilen gaz, kaplama ortamının temizliğini sağlamak için buharlaştırılır ve pompalanır.
3. Kaplama işlemi
İşlem parametrelerini ayarlayın:
Kaplama gereksinimlerine göre, buharlaşma sıcaklığı, buharlaşma oranı, vakum derecesi vb. Gibi uygun işlem parametrelerini ayarlayın.
Buharlaşma süreci:
Tungsten filament gibi buharlaşma kaynağına buharlaşma malzemesi ekleyin.
Buharlaşma kaynağını açın, buharlaşma işlemini gerçekleştirin ve aktif atomları serbest bırakın.
Film Birikimi:
Objektif atomları veya molekülleri merceğin yüzeyinde biriktirmek için vakum odasında iyon kaynakları veya elektron ışınları gibi enerji kaynaklarını kullanın.
Biriktirme işlemi sırasında, önceden belirlenmiş gereksinimlerin karşılanmasını sağlamak için film kalınlığını gerçek zamanlı olarak izlemek için bir vakum film kalınlığı göstergesi kullanılır.
Yardımcı ısıtma:
Biriktirme işlemi sırasında, substrat yüzeyini, film katmanının yoğunlaşmasına ve katılaşmasına elverişli olan film katmanının kendi kendine yoğunlaşma sıcaklığına ısıtmak için yardımcı ısıtma teknolojisinin kullanılması gerekebilir.
4. Kaplama sonrası tedavi
Soğutma:
Kaplama işlemi tamamlandığında, buharlaşma kaynağı ve iyon kaynağı gibi enerji kaynaklarını kapatın.
Vakum odasının oda sıcaklığına doğal olarak soğumasına izin verin veya soğutma işlemini hızlandırmak için zorla soğutma kullanın.
İş parçasını çıkarın:
Vakum odasındaki hava basıncı normal basınca geri döndükten sonra, vakum odası kapısını açın ve kaplanmış lensi çıkarın.
Temizlik ve muayene:
Yüzeyde kalabilecek safsızlıkları gidermek için kaplanmış lensi temizleyin.
Film kalınlığı, tekdüzelik, optik performans vb.
5. Bakım ve Bakım
Reaksiyon odasını temizleyin:
Reaksiyon odasının iç kısmını ve kalan buharlaşma malzemelerini ve safsızlıklarını gidermek için ısıtma plakası gibi bileşenleri düzenli olarak temizleyin.
Parçaların değiştirilmesi:
Ekipmanın kullanımına göre, buharlaşma kaynağı, iyon kaynağı vb. Gibi parçaları düzenli olarak şiddetli aşınma ile değiştirin.
Bakım:
Güç kaynağı, gaz kaynağı, soğutma sisteminin vb. Düzgün çalışıp çalışmadığını kontrol etmek de dahil olmak üzere ekipman üzerinde kapsamlı bakım yapın.
Kaplama doğruluğunu ve stabilitesini sağlamak için ekipmanı düzenli olarak kalibre edin ve hata ayıklayın.
Yukarıdakiler optik kaplama makinesinin temel çalışma adımlarıdır. Farklı modellerin ve özelliklerin optik kaplama makineleri farklı özel işlemlere sahip olabilir. Bu nedenle, gerçek çalışma sürecinde, ekipman kılavuzu kesinlikle takip edilmeli ve ilgili güvenlik düzenlemeleri ve işletim prosedürleri gözlemlenmelidir.
