Birçok müşterinin satın alırken kafası karışıyorvakum kaplama makineleri. Hangi tür ve model kaplama makinesine ihtiyaç duyduklarını biliyorlar ancak makinenin kaliteli ve yüksek-kaliteli sayılması için hangi standartları karşılaması gerektiğini belirleyemiyorlar. Bu kafa karışıklığı onları pek çok dolambaçlı yola sürükler. Aşağıda Puyuan Vakum, bir vakumlu kaplama makinesinin karşılaması gereken temel teknik gereksinimlere ayrıntılı bir giriş sağlayacaktır.
Vakumlu Buharlaştırma, Katot İyonizasyonu, Magnetron Püskürtme:
1.Ekipmandaki vakum boru hatlarının ve statik sızdırmazlık bileşenlerinin yapısı GB/T6070'e uygun olmalıdır.
2.Her konumdaki vakum seviyesini ölçmek için düşük-vakum ve yüksek-vakum boru hatlarına ve vakum kaplama odasına vakum ölçüm göstergeleri takılmalıdır. Elektrik alanından kaynaklanan girişim tespit edilirse ölçüm portuna bir elektrik alanı koruyucu cihaz takılmalıdır.
3.PVD kaplama ekipmanında kullanılan ana pompa difüzyon pompası ise pompa giriş tarafına yağ buharı kapanı takılmalıdır.
4. Vakumlu kaplama ekipmanının kaplama odası, bir gözlem penceresi ve bir saptırma cihazı ile donatılmalıdır. Gözlem penceresi, biriktirme kaynağının ve diğer kritik bileşenlerin çalışma durumunun gözlemlenmesine olanak sağlamalıdır.
5. İyon kaplama biriktirme kaynağının tasarımı, kaplama işlemi sırasında iyonizasyon oranını maksimuma çıkarmalı, kaplama malzemesinin kullanım oranını iyileştirmeli, biriktirme kaynağının gücünü rasyonel olarak eşleştirmeli ve biriktirme kaynağının vakum odası içindeki konumunu rasyonel olarak düzenlemelidir.
6.Isıtma cihazı rasyonel olarak düzenlenmelidir; Genel olarak ısıtıcı yapı düzeni, kaplanacak iş parçasında eşit sıcaklık artışını sağlamalıdır.
7. İş parçası tutucusu vakum odasından yalıtılmalı ve iş parçası tutucusunun tasarımı, iş parçası film tabakasının düzgün olmasını sağlamalıdır.
8. İyon vakumlu kaplama makineleri genellikle iş parçası negatif öngerilim voltajına ve iyon bombardımanı güç kaynağına sahip olmalıdır. İyon bombardımanı güç kaynağı, anormal deşarjı bastıracak ve kararlı çalışmayı sürdürecek bir cihaza sahip olmalıdır.
9.Farklı potansiyellere bağlanan vakum odasının farklı bölümleri arasındaki yalıtım direnci değerleri, GB/T11164-1999'un 4.4.6'sına uygun olacaktır.
10. Diğer önlemler
(1) Ortam sıcaklığı: 10-30 derece
(2) Bağıl nem: %75'ten fazla değil
(3) Soğutma suyu giriş sıcaklığı: 25 dereceden yüksek değil
(4) Soğutma suyu kalitesi: belediye musluk suyu veya eşdeğer kalitede su.
(5) Güç kaynağı: 380V üç-faz 50Hz veya 220V tek-faz 50Hz (kullanılan elektrikli cihazlara bağlı olarak); voltaj dalgalanma aralığı: 342-399V veya 198-231V; frekans dalgalanma aralığı: 49-51Hz.
(6) Ekipmanın gerektirdiği basınç, sıcaklık ve basınçlı hava, sıvı nitrojen, soğuk su, sıcak su vb. tüketimi ürün kullanım kılavuzunda belirtilmelidir.
(7) Ekipmanın çevresi temiz olmalı ve hava, elektrikli bileşenlerin veya diğer metal parçaların korozyonuna veya metaller arasında iletkenliğe neden olabilecek toz veya gazlardan arındırılmış olmalıdır.
