Vakum kaplama makinesiesas olarak, vakumlu iyon buharlaştırma, magnetron püskürtme, MBE moleküler ışın epitaksisi, PLD lazer püskürtme biriktirme vb. dahil olmak üzere birçok türü içeren, nispeten yüksek derecede vakum altında gerçekleştirilmesi gereken bir kaplama türünü ifade eder. Ana fikir, bunu iki türe bölmektir: buharlaştırma ve püskürtme.
Degrade renk işleminde genellikle magnetron püskürtme kaplama ekipmanı kullanılır. Şu anda Huawei ve Lenovo gibi birçok cep telefonu modelinin degrade renkli kasaları, PVD vakumlu degrade kaplama işlemini kullanıyor.
Magnetron püskürtme, bir tür fiziksel buhar biriktirmedir (Fiziksel Buhar Biriktirme, PVD). Genel püskürtme yöntemi metalleri, yarı iletkenleri, yalıtkanları ve diğer malzemeleri hazırlamak için kullanılabilir ve basit ekipman, kolay kontrol, geniş kaplama alanı ve güçlü yapışma avantajlarına sahiptir.
1970'li yıllarda geliştirilen magnetron püskürtme yöntemiyle yüksek hız, düşük sıcaklık ve düşük hasar elde edilmiştir. Yüksek-hızlı püskürtme düşük basınç altında gerçekleştirildiğinden, gaz iyonlaşma hızının etkili bir şekilde arttırılması gerekir. Magnetron püskürtme, hedef katodun yüzeyine bir manyetik alan sağlar ve püskürtme hızını artırmak amacıyla plazma yoğunluğunu artırmak için yüklü parçacıkları sınırlamak için manyetik alanı kullanır.
Magnetron püskürtmeli vakum kaplama makinesi, mevcut ürünlerin vakum koşullarında kaplanması için en yaygın kullanılan ekipmandır. Tam bir magnetron püskürtme vakumlu kaplama makinesi, sistemin birden fazla parçasından oluşur. Her sistem, nihai yüksek-kaliteli kaplamayı elde etmek için farklı işlevleri tamamlayabilir. Magnetron püskürtme kaplamanın bileşenleri arasında vakum odası, mekanik pompa, vakum test sistemi, yağ difüzyon pompası, vakum sistemi, yoğuşma pompası, film oluşumu kontrol sistemi vb. bulunur.
Magnetron püskürtme vakumlu kaplama makinesinin ana gövdesi vakum odasıdır. Vakum odasının boyutu işlenen ürünlere göre belirlenir. Magnetron püskürtme kaplamanın boyutu özelleştirilebilir. Hazne genellikle paslanmaz çelikten yapılmıştır ve sağlam, dayanıklı ve paslanmaz-olmaması gerekir. Magnetron püskürtme kaplama vakum odasında, çeşitli yardımcı pompaları bağlamak için birçok bağlantı valfi bulunur.
Magnetron püskürtme kaplama filmi oluşumu kontrol sistemi, sabit kaplama süresi, görsel inceleme, aşırı izleme ve kristal titreşim izleme gibi farklı yöntemleri benimseyebilir. Vakumlu kaplama makineleri ve vakumlu kaplama makinesinde kaplama yöntemleri de çeşitli proseslere ayrılmaktadır. Yaygın olarak kullanılanlar arasında iyon buharlaştırma kaplaması ve magnetron püskürtme kaplaması bulunur. Magnetron püskürtme ile kaplanan film tabakası, güçlü yapışma ve yüksek saflığa sahiptir ve aynı anda farklı bileşimlere sahip çeşitli malzemeleri püskürtebilir.
