Vakum kaplama makinelerinin kaplama işleminde birkaç yaygın iyon kaynağı

İş parçasının yapışmasını, bağlanma kuvvetini ve film yapısını iyileştirmek için, birçok vakum kaplama makinesi kaplama işlemi sırasında iyon kaynakları ile donatılmıştır.
Birçok iyon kaynağı türü olmasına rağmen, amaçları çevrimiçi temizlikten başka bir şey değildir, reaksiyon gazının enerjisini arttırmak için kaplama yüzeyin enerji dağılımını ve modülasyonunu geliştirir. İyon kaynağı, film ve substrat arasındaki bağlanma gücünü büyük ölçüde artırabilir ve ayrıca filmin sertliğini ve aşınma direncini artırabilir. Elektrografasyon aracının aşınma dirençli tabakası genellikle daha kalınsa ve film kalınlığı homojenliği yüksek değilse, daha büyük bir iyon akımına sahip bir iyon kaynağı ve salon iyon kaynağı veya anot iyon kaynağı gibi daha yüksek enerji seviyesi kullanılabilir.
Anot tabakası iyon kaynağının prensibi salon iyonu kaynağına benzer. Geliştirilmiş bir manyetik alan ile halka şeklindeki (dikdörtgen veya dairesel) dar bir yarık eklenir ve çalışma gazı iyonize edilir ve anotun etkisi altında iş parçasına yayılır. Anot tabakası iyon kaynağı çok büyük ve uzun yapılabilir, bu da özellikle mimari cam gibi büyük parçaların elektrokaplanması için uygundur. Anot tabakası iyon kaynağının iyon akımı da büyüktür. Bununla birlikte, iyon akışı farklıdır ve enerji seviyesi dağılımı çok geniştir. Genellikle büyük iş parçaları, cam, aşınmaya dayanıklı ve dekoratif iş parçaları için uygundur. Ancak gelişmiş optik kaplamalarda çok fazla uygulama yoktur.
Bu vakum kaplama, anot ve güçlü eksenel manyetik alanın proses gazını iyonize etmek için birlikte çalıştığı bir salon iyonu kaynağı ile donatılmıştır. Eksenel manyetik alanın güçlü dengesizliği, gaz iyonlarını bir iyon ışını oluşturmak için ayırır. Eksenel manyetik alan çok güçlü olduğundan, salon iyonu kaynak iyon ışınının iyon akışını nötralize etmek için elektronlarla desteklenmesi gerekir. Yaygın bir nötralizasyon kaynağı bir tungsten filament (katot).