Optik vakum kaplama makinesi bir vakum sistemi, bir buharlaştırma sistemi, bir soğutma sistemi ve bir elektrik sisteminden oluşur. Vakum sistemi bir vakum tankı ve bir egzoz sisteminden oluşur. Vakum tankı kaplama makinasının ana gövdesi olup, kaplama işlemi vakum tankında tamamlanır. Vakum tankı ve egzoz sistemi bir bağlantı valfı ile bağlanır. Hava moleküllerinin püskürtülen iyonlar üzerindeki etkisini önlemek ve film tabakasının kalitesini artırmak için, optik bileşenlerin ve iyon kaynağının çalışma sırasında vakum ortamına yerleştirilmesi gerekir.
Egzoz sistemi temel olarak vakum tankındaki gazın dışarı atılmasından ve tankta vakum ortamının oluşturulmasından sorumlu olan mekanik bir pompa, bir Roots pompası ve bir vakum pompasından oluşur. Buharlaştırma sistemi esas olarak film oluşturma cihazını ifade eder. Kaplama makinesinde dirençli ısıtma, elektron tabancası buharlaştırma, magnetron püskürtme, radyo frekansı püskürtme, iyon kaplama vb. gibi birçok türde film oluşturma cihazı vardır.
Optik vakumlu kaplama makineleri, vakum püskürtme yoluyla optik bileşenlere ince filmler uygulayarak, gelen ışığın yansımasını ve geçirgenliğini değiştirir. Bileşen yüzeyindeki yansıma kayıplarını en aza indirmek ve görüntü kalitesini artırmak için sıklıkla çok sayıda ince film katmanı uygulanır. Optik bir bileşenin kaplanmasından sonra ışık, çok katmanlı filmin yüzeyinde birçok kez yansır ve iletilir, böylece çok sayıda girişim ışını oluşturulur. Film katmanlarının kalınlığı ve kırılma indisi kontrol edilerek değişen yoğunluk dağılımları elde edilebilir. Bu prensip, daha karmaşık ihtiyaçları karşılamak üzere polarize edici yansıtıcı filmler, renk ayırıcı filmler, soğuk ışık filmleri ve girişim filtreleri üretmek için kullanılabilir.
