Vakumlu kaplama makinelerinde vakumlu tüp kaplamanın prensibi, bir elektrik alanının etkisi altında alt tabakaya doğru hızlanan elektronların argon atomlarıyla çarpışarak çok sayıda argon iyonu ve elektrona iyonlaşmasıdır. Elektronlar daha sonra alt tabakaya doğru uçarlar. Elektrik alanı tarafından hızlandırılan argon iyonları, hedef malzemeyi bombalayarak çok sayıda hedef atomu püskürtür; bunlar, nötr hedef atomlar (veya moleküller) olarak alt tabaka üzerinde bir film oluşturmak üzere birikirler. İkincil elektronlar, alt tabakaya doğru hızlanmaları sırasında manyetik alanın Lorentz kuvvetinden etkilenir ve hedef yüzeye yakın bir plazma bölgesiyle sınırlandırılır. Bu bölge yüksek plazma yoğunluğuna sahiptir ve manyetik alanın etkisi altındaki ikincil elektronlar hedef yüzey etrafında dairesel bir hareketle hareket eder.
Bu uzun hareket yolu, hedef malzemeyi bombalayan çok sayıda argon iyonuna iyonlaşarak argon atomlarıyla sürekli çarpışmaları içerir. Çoklu çarpışmalardan sonra elektronlar yavaş yavaş enerji kaybeder, manyetik alan çizgilerinden kurtulur, hedef malzemeden uzaklaşır ve sonunda alt tabakaya yerleşir. Şimdi, orta-frekanslı magnetron püskürtme hedefinin eklenmesiyle, filmin buharlaşan molekülleri, bir elektrik alanının etkisi altında hedef malzeme tarafından hızlandırılır ve bombardıman edilir, çok sayıda hedef atomu püskürtülür.
Nötr hedef atomlar (veya moleküller), titanyum kaplama, zirkonyum kaplama vb. gibi geçmişte doğal buharlaşma ile işlenemeyen film türlerinin sorununu çözen bir film oluşturmak üzere alt tabaka üzerinde biriktirilir.
Şu anda alüminyum-nitrojen kompozit filmi vakum tüplerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Filmin tamamı üç katmandan oluşuyor: iç, orta ve dış, her biri kendi işlevine sahip. İç katman, ana işlevi tüpteki sıcak sudan gelen ısının dışarı doğru yayılmasını önlemek olan yansıtıcı bir katmandır.
Orta katman, ana işlevi ışık enerjisini absorbe etmek ve onu ısı enerjisine dönüştürmek olan bir soğurma katmanıdır.
Dış katman, ana işlevi güneş ışığının yansımasını azaltmak ve güneş ışığının emilim oranını artırmak olan-yansıtıcı olmayan bir katmandır.
