Vakumlu buharlaştırma: Prensip, film malzemesini buharlaştırmak veya süblimleştirmek için vakum koşulları altında bir buharlaştırıcı ile ısıtmaktır ve daha sonra buharlaşan parçacık akışı, katı bir film oluşturmak üzere biriktirildiği yerde doğrudan alt tabakaya doğru yönlendirilir. Buharlaşma aynı zamanda elektron ışını buharlaşması, direnç buharlaşması, indüksiyon buharlaşması vb. olarak da ayrılır.
İyon Kaplama: İyon kaplama genel olarak kaplama işlemi sırasında çok sayıda iyon üreten bir kaplama yöntemini ifade eder. Film oluşturma işlemi sırasında, alt tabaka sürekli olarak yüksek-enerjili parçacıklarla bombardıman edilir, bu da mükemmel mukavemete ve yapışmaya sahip çok güçlü bir film tabakasıyla sonuçlanır. Yüksek-hassasiyete sahip filmler oluşturmak için iyon kaplama kullanıldığında, büyük iyon parçacıkları filtrelenerek, oldukça yapılandırılmış ve yoğun bir film elde edilebilir.
Günlük hayatta en yaygın olarak kullanılan vakumlu kaplama ekipmanı kaplama teknolojileri bu üçüdür. Hangi film tabakasının kaplanacağına ve hangi iş parçasının kaplanacağına bağlı olarak seçilecek olan spesifiktir.
