Vakum kaplama makinesinin düşük vakum egzozu için temel gereksinimler yüksek çalışma basıncı ve büyük hava hacmidir, ancak pompalama hızı için gereksinimler yüksek vakum ünitesininki kadar iyi değildir. Bu nedenle, düşük vakum kaplama makinesinin ekseni genellikle kaba vakum odası olarak kullanılır. Düşük vakum pompaları genellikle kök pompası, moleküler elek adsorpsiyon pompası, yağ buharlı jet pompası, buharlı jet pompası, su halkası pompası, pistonlu pompa, yağ keçesi pompası, vb. Diğer pompalar doğrudan atmosfere boşaltılabilir.
Avantajı, mekanik pompayı koruyabilmesidir, ancak dezavantaj, pompanın etkili pompalama hızını azaltması, ekipmanın ekonomik bütçesini arttırması ve ekipmanın bakımını engellemesidir. Şu anda piyasada iki tür toz toplayıcı vardır: kaba toz toplayıcı (metal örgü toz toplayıcı, siklon toz toplayıcı) ve ince toz toplayıcı (yağ filmi toz koleksiyoncusu ve yağ sisi toz koleksiyoncusu).
1. Kaba Toz Çıkarma (Metal Örgü Toz Toplayıcı)
Metal örgü toz koleksiyoncunun temel versiyonu, nispeten basit bir yapıya sahip çelik çip filtresidir. Metal kesme çiplerini bir tel örgü torbaya koyan basit bir cihazdır. Kaplama vakum odasının borusunun çıkışına monte edilmiş, çıkarmak ve itmek kolaydır. Bu toz toplayıcının boyutu genellikle 20-60 cm'dir. Çalışma prensibi, tozdaki bazı büyük parçacıkları giderebilen ve ayrıca belirli bir soğutma etkisine sahip olan çipin mekanik bariyer etkisine güvenmektir. Daha sonraki geliştirilmiş metal örgü toz çıkarma cihazında, pompa yağının bir kısmı yağ rezervuarına monte edilir, böylece hava akışındaki toz parçacıklarının çoğu yağda çıkarılabilir ve yağ yüzeyine bağlanmayan toz parçacıkları metal ağ tarafından çıkarılır.
2. İnce toz çıkarma (yağ filmi toz koleksiyoncusu)
Vakum kaplama makinesinin silindiri, delikli çok katmanlı bir metal diyafram ile donatılmıştır ve diyafram bir metal veya seramik halka ile donatılmıştır. Silindir, dolaşımdaki bir yağ pompasına sahip bir yağ enjeksiyon halkası memesi ile donatılmıştır, böylece hava akışı geçtiğinde toz yağ filmine bağlanabilir. Sadece iyi toz çıkarma yeteneğine sahip olmakla kalmaz, aynı zamanda iyi bir gaz soğutma etkisine sahiptir.
