Magnetron püskürtme ekipmanı esas olarak aşağıdaki parçalardan oluşur:
1. Hedef malzeme: genellikle metal, alaşım ve diğer malzemelerden yapılmış magnetron püskürtme ekipmanının çekirdek bileşeni.
2. Vakum Odası: Magnetron püskürtme ekipmanlarının çalışma ortamı yüksek vakum koşulları altında gerçekleştirilmeli ve vakum odası vakumun korunmasının rolünü oynar.
3. Magnetron Sistemi: Manyetik alan, püskürtmeye neden olmak için hedef malzemenin yüzeyindeki iyon bombardımanını kontrol etmek için kullanılır.
4. Substrat çerçevesi: İşlenecek substrat malzemesini desteklemek için kullanılır.
5. Isıtma Sistemi: Bazı durumlarda, püskürtme işlemini kontrol etmek için hedef malzemenin ve substratın ısıtılması gerekir.
